現(xiàn)代科學技術的發(fā)展使得我們對微觀世界有了更深入的認識。在諸多現(xiàn)代科學儀器中,
臺式電鏡SEM(Scanning Electron Microscope)無疑是一種非常重要的儀器。它以其出色的分辨率和廣闊的應用領域受到了廣泛的關注和應用。
電子束的發(fā)射和聚焦:SEM使用熱陰極電子槍產(chǎn)生電子束,并通過磁場的引導將電子束聚焦到樣品表面。聚焦后的電子束精細、高能量,能夠在樣品表面產(chǎn)生豐富的信號。
信號的收集和檢測:SEM通過電子和樣品之間的相互作用產(chǎn)生多種信號,主要包括二次電子、反射電子、X射線等。這些信號經(jīng)過收集和檢測后,通過電子光學系統(tǒng)轉化為圖像。
圖像的顯示和分析:SEM的圖像顯示方式有兩種,一種是實時觀察,另一種是圖像捕獲和保存。圖像的分析可以通過直接觀察,也可以使用計算機進行圖像處理和分析。
使用臺式電鏡SEM的基本步驟如下:
1.準備樣品:選擇需要觀察的樣品,并將其固定在樣品支架上。樣品應該具有較好的導電性能,在必要時可以進行鍍金等導電處理。
2.真空處理:將樣品支架放入電子槍的樣品艙內(nèi),并通過真空泵將空氣抽出,以確保在觀察過程中不會有氣體干擾。
3.配置參數(shù):根據(jù)樣品的特點和觀察需求,設置合適的加速電壓、放大倍數(shù)、工作距離等參數(shù)。一般來說,加速電壓越高,分辨率越高,但也容易導致樣品受到較強的電子束輻射。
4.對焦:通過調(diào)節(jié)物鏡和樣品之間的距離,使得電子束能夠在樣品表面形成清晰的像。
5.觀察和拍攝:將樣品移動到觀察區(qū)域,通過顯微鏡目鏡觀察樣品表面的細節(jié),并使用CCD相機等設備拍攝圖像。
6.樣品移動和調(diào)整:如果需要觀察樣品的其他區(qū)域或者調(diào)整焦距等參數(shù),可以通過微動裝置和控制器進行樣品移動和調(diào)整。
7.結束操作:觀察完成后,關閉加速電壓,排氣并恢復到大氣壓。注意將樣品取出,并關閉。