臺式電鏡是近代發(fā)展很快、用途日益廣泛的重要電子光學儀器之一。現(xiàn)已很接近于透射電鏡的分辨率，而且大多數(shù)掃描電鏡都能同X射線波譜分析儀、X射線能譜儀和自動圖像分析儀等組合，使得它是一種對表面微觀世界能夠進行全面分析的多功能的電子光學儀器。

　　從儀器的角度，提高臺式電鏡的分辨率主要有如下途徑：

　　1.降低透鏡的球像差以獲得小的電子束斑尺寸掃描電子像的分辨率在一定程度上取決于電子束斑的尺寸。電子束斑的尺寸越小，相應圖像的分辨率越高。但是電子束斑的尺寸是受透鏡球像差的影響。對于一定的透鏡系統(tǒng)來說，其球像差系數(shù)是和觀察時的工作距離有關(guān)。工作距離越小，相應球像差系數(shù)也越小。因此，降低透鏡球像差系數(shù)的途徑有二：（1）改善透鏡的設(shè)計；（2）縮短工作距離。

　　2.提高電子槍的亮度

　　對于一幀掃描圖像來說，如果沒有足夠的襯度和信噪比，則單純提高其分辨率將失去意義。為了在很小的電子束斑條件下仍保證有足夠的襯度和信噪比，解決辦法之一是提高電子槍的亮度。因此，在臺式電鏡的發(fā)展歷史上，其圖像分辨率在很大程度上是受著電子槍亮度的限制。目前，亮度高的電子槍是場發(fā)射電子槍，但這種電子需要有真空（108Pa）的工作條件。

　　3.提高對成像信息的接收效率

　　為了在束斑條件下仍保證有足夠的襯度和信噪比，另外一個解決辦法是提高對成像信息的接收效率。如果把接收效率提高10%，在效果上相當于把電子槍的亮度也提高10%。

　　4.提高樣品室的清潔真空度

　　當對試樣表面的精細結(jié)構(gòu)進行觀察時，如果表面玷污，則無法看到細節(jié)，因此，在高分辨率觀察時要求樣品室有較高的清潔真空度，通常要求優(yōu)于1×10Pa。